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Thermo Scientific™ Étalons de taille de particules SURF-CAL™
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Simplifiez la préparation des wafers d’étalonnage avec les étalons de tailles de particules Thermo Scientific™ SURF-CAL™, pour l’étalonnage et la maintenance des systèmes d’inspection de surface d’exploration (SSIS). Les dimensions de particules disponibles correspondent aux tailles de point d’étalonnage requises par les fabricants d’instruments.
- Les tailles disponibles sont considérées être des nœuds de dimensionnement critiques comme défini par l’International Technology Roadmap for Semiconductors (ITRS).
- En déposant des sphères en latex de polystyrène (PSL) traçables NIST™ SURF-CAL™ sur des plaquettes spécialement sélectionnées, vous pouvez effectuer les vérifications d’étalonnage périodiques et comparer votre scanner avec des scanners situés dans d’autres endroits.
- Vous pouvez également évaluer les performances de vos SSIS à des étapes critiques du procédé de fabrication.
- Tous les produits sont mis en suspension dans de l’eau déminéralisée, filtrée dans des flacons de 50 ml à une concentration de 3 × 108 particules par ml.
Remarque :
Les produits PD1100 et inférieurs sont également disponibles à raison de 1010 particules par ml pour les applications assistées par un analyseur de mobilité différentielle (AMD) ou d’autres techniques d’exclusion stérique.
Specifica
Specifica
| Additif | Néant |
| Concentration | 3 x 108 particules/ml |
| Contenu et stockage | Sauf indication contraire, réfrigérer (2 à 8°C) le produit lorsqu’il n’est pas en cours d’utilisation, mais ne pas le congeler. Conservez le flacon hermétiquement fermé en position verticale. Mélanger le produit en le retournant délicatement à la main ou avec un vortex. |
| Contenu | Microsphères en polystyrène dans de l’eau déminéralisée et filtrée |
| Description | Particules pour l’étalonnage et la maintenance des Systèmes d’inspection de surface d’exploration (SSIS) |
| Couleur | Blanc ou incolore |
| À utiliser avec (application) | Étalonnage et maintenance du SSIS |
| Matériau | Polystyrène |
| Type de produit | Particules d’étalonnage de taille |
| Comprend | Certificat d’étalonnage et de traçabilité pour le NIST |
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