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Thermo Scientific™ Étalons de taille de particules SURF-CAL™

Code produit. p-4530444 Tous les produits Thermo Scientific Produits
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Diamètre (métrique):
0,047 μm
0,064 μm
0,083 μm
0,092 μm
0,100 μm
0,155 μm
0,202 μm
0,204 μm
0,220 μm
0,304 μm
0,360 μm
0,498 μm
0,802 μm
0,809 μm
1,112 μm
1,59 μm
2,01 μm
3,04 μm
Concentration:
1 x 10¹°particules/ml
3 x 108 particules/ml
Conditionnement:
50mL
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Code produit. 11884862

Marque: Thermo Scientific™ PD047

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Description

Simplifiez la préparation des wafers d’étalonnage grâce à ces étalons de taille de particules.

Simplifiez la préparation des wafers d’étalonnage avec les étalons de tailles de particules Thermo Scientific™ SURF-CAL™, pour l’étalonnage et la maintenance des systèmes d’inspection de surface d’exploration (SSIS). Les dimensions de particules disponibles correspondent aux tailles de point d’étalonnage requises par les fabricants d’instruments.

Thermo Fisher Scientific™, de concert avec l’industrie des semi-conducteurs et le SEMI, a établi des tailles de particules spécifiques à utiliser lors de l’étalonnage des systèmes d’inspection de surface d’exploration. En collaboration avec les fabricants d’instruments, nous avons créé la gamme de produits SURF-CAL™ pour répondre aux normes SEMI.
  • Les tailles disponibles sont considérées être des nœuds de dimensionnement critiques comme défini par l’International Technology Roadmap for Semiconductors (ITRS).
  • En déposant des sphères en latex de polystyrène (PSL) traçables NIST™ SURF-CAL™ sur des plaquettes spécialement sélectionnées, vous pouvez effectuer les vérifications d’étalonnage périodiques et comparer votre scanner avec des scanners situés dans d’autres endroits.
  • Vous pouvez également évaluer les performances de vos SSIS à des étapes critiques du procédé de fabrication.
  • Tous les produits sont mis en suspension dans de l’eau déminéralisée, filtrée dans des flacons de 50 ml à une concentration de 3 × 108 particules par ml.

Remarque :

Les produits PD1100 et inférieurs sont également disponibles à raison de 1010 particules par ml pour les applications assistées par un analyseur de mobilité différentielle (AMD) ou d’autres techniques d’exclusion stérique.

TRUSTED_SUSTAINABILITY

Spécification

Additif Néant
Concentration 3 x 108 particules/ml
Contenu et stockage Sauf indication contraire, réfrigérer (2 à 8°C) le produit lorsqu’il n’est pas en cours d’utilisation, mais ne pas le congeler. Conservez le flacon hermétiquement fermé en position verticale. Mélanger le produit en le retournant délicatement à la main ou avec un vortex.
Contenu Microsphères en polystyrène dans de l’eau déminéralisée et filtrée
Description Particules pour l’étalonnage et la maintenance des Systèmes d’inspection de surface d’exploration (SSIS)
Couleur Blanc ou incolore
À utiliser avec (application) Étalonnage et maintenance du SSIS
Matériau Polystyrène
Type de produit Particules d’étalonnage de taille
Comprend Certificat d’étalonnage et de traçabilité pour le NIST
Densité des particules 1,05 g/cm³
Quantité 50 ml
Indice de réfraction De 1,59 à 589 nm (25°C)
Distribution des tailles 0,004 µm
Stabilité Produit stable pendant une période minimum de 12 mois
Diamètre (métrique) 0,047 μm
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